TY  - JOUR
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AU  - Michaels, Chris
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C2  - Applied Physics Letters
DA  - 1998-02-17 00:02:00
LA  - en
M1  - 73
PB  - Applied Physics Letters
PY  - 1998
TI  - Carbon Nanotube Tipped Atomic Force Microscopy for Measurement of <100nm Etch Morphology on Semiconductors
ER  -