TY - JOUR AU - Dwight, D AU - Rao, M AU - Holland, O AU - Kelner, G AU - Chi, P AU - Kretchmer, J AU - Ghezzo, M C2 - Journal of Applied Physics DA - 1997-02-12 00:02:00 LA - en M1 - 82 PB - Journal of Applied Physics PY - 1997 TI - Nitrogen and Aluminum Implantation in High Resistivity Silicon Carbide ER -