TY  - CONF
AU  - Cresswell, Michael
AU  - Arora, N.
AU  - Allen, Richard
AU  - Murabito, Christine
AU  - Richter, Curt
AU  - Gupta, Ashwani
AU  - Linholm, Loren
AU  - Pachura, D.
AU  - Bendix, P.
C2  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Kobe, 1, JA
DA  - 2001-02-06 00:02:00
LA  - en
M1  - 14
PB  - Proc., IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, Kobe, 1, JA
PY  - 2001
TI  - Test Chip for Electrical Linewidth of Copper-Interconnection Features and Related Parameters
ER  -