TY - JOUR AU - Lin, Y AU - Puthenkovilakam, R AU - Chang, J AU - Bouldin, C AU - Levin, Igor AU - Nguyen, Nhan AU - Sun, Y AU - Pianetta, P AU - Conard, T AU - Vandervorst, W AU - Venturo, V AU - Selbrede, S C2 - Applied Physics DA - 2021-10-12 15:10:23 LA - en PB - Applied Physics PY - 2021 TI - Tailoring the High-K Gate Dielectric/Sillicon Interface for CMOS Applications ER -