TY - JOUR AU - Rocas, Eduard AU - Collado, C. AU - Mateu, Jordi AU - Hueltes, A AU - Verdu, J. AU - Aigner, Robert AU - Booth, James C2 - IEEE Xplore Digital Library DA - 2013-07-21 00:07:00 LA - en PB - IEEE Xplore Digital Library PY - 2013 TI - Performance of BAW Resonators at Cryogenic Temperatures ER -