TY  - JOUR
AU  - Ding, Y
AU  - Germer, Thomas
AU  - Douglas, J
AU  - Okerberg, B
AU  - Karim, A
AU  - Soles, C
C2  - ACS Nano
DA  - 2007-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 1
PB  - ACS Nano
PY  - 2007
TI  - Relaxation behavior of polymer structures fabricated by nanoimprint lithography
ER  -