TY  - JOUR
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C2  - Res Soc Symp Proc
DA  - 1992-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 236
PB  - Res Soc Symp Proc
PY  - 1992
TI  - Activation of the Si(100)/Cl<sub>2</sub> etching reaction at high Cl<sub>2</sub> translational energies, Mat.
ER  -