TY  - CONF
AU  - Bodermann, Bernd
AU  - Bergmann, Detleff
AU  - Buhr, Egbert
AU  - Haebler-Grohne, Wolfgang
AU  - Bosse, Harald
AU  - Potzick, James
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Quintanilha, Richard
AU  - Stocker, Michael
AU  - Vladar, Andras
AU  - Orji, Ndubuisi
C2  - SPIE Proceedings Vol. 7488, Monterey, CA, US
DA  - 2009-10-09 00:10:00
LA  - en
M1  - 7488
PB  - SPIE Proceedings Vol. 7488, Monterey, CA, US
PY  - 2009
TI  - Results of an international photomask linewidth comparison of NIST and PTB
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=903776
ER  -