TY  - JOUR
AU  - Nieto, M
AU  - Allain, J
AU  - Titov, V
AU  - Hendricks, M
AU  - Hassanein, A
AU  - Rokusek, D
AU  - Chrobak, C
AU  - Tarrio, Charles
AU  - Barad, Yaniv
AU  - Grantham, Steven
AU  - Lucatorto, Thomas
AU  - Rice, Bryan
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2006-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 100
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2006
TI  - Effect of xenon bombardment on ruthenium coated grazing incidence collector lifetime for EUV lithography,
ER  -