TY  - JOUR
AU  - Goldfarb, D
AU  - Burns, S
AU  - Angelopolous, M
AU  - Skordas, S
AU  - Burns, R
AU  - Lawson, M
AU  - Brodsky, C
AU  - Vishnu, V
AU  - Jablonski, E
AU  - Prabhu, Vivek
AU  - Jones, Ronald
AU  - Vogt, B
AU  - Soles, Christopher
AU  - Lin, Eric
AU  - Wu, Wen-Li
C2  - Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems
DA  - 2021-10-12 15:10:19
LA  - en
PB  - Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems
PY  - 2021
TI  - Additive-Containing Rinses for LER and Defectivity Control During High-Resolution Resist Patterning
ER  -