TY  - CONF
AU  - Lavery, Kristopher
AU  - Thompson, George
AU  - Deng, Hai
AU  - Fryer, D
AU  - Choi, Kwang-Woo
AU  - Vogt, B
AU  - Prabhu, Vivek
AU  - Lin, Eric
AU  - Wu, Wen-Li
AU  - Satija, Sushil
AU  - Leeson, Michael
AU  - Cao, Heidi
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
DA  - 2006-03-01 00:03:00
LA  - en
M1  - 6153
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA, US
PY  - 2006
TI  - Fundamentals of the Reaction-Diffusion Process in Model EUV Photoresists
UR  - https://tsapps.nist.gov/publication/get_pdf.cfm?pub_id=852624
ER  -