TY  - JOUR
AU  - Sahiner, M
AU  - Woicik, Joseph
AU  - Gao, P
AU  - McKeown, P
AU  - Croft, Mark
AU  - Gartman, M
AU  - Benapfl, B
C2  - Thin Solid Films
DA  - 2021-10-12 15:10:19
LA  - en
PB  - Thin Solid Films
PY  - 2021
TI  - Pulsed Laser Deposition and Characterization of Hf Based High-k Dielectric Thin Films
ER  -