TY  - CONF
AU  - Vorburger, Theodore
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Song, Jun-Feng
AU  - Renegar, Thomas
AU  - Fu, Joseph
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Tsai, V
AU  - Williams, E.
AU  - Edwards, H
AU  - Cook, D
AU  - West, P
AU  - Nyffenegger, R
C2  - Defense Manufacturing Conference, Unknown, 1, USA
DA  - 2001-01-01 00:01:00
LA  - en
PB  - Defense Manufacturing Conference, Unknown, 1, USA
PY  - 2001
TI  - Atomic Level Surface Metrology
ER  -