TY  - CONF
AU  - Vorburger, Theodore
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Fu, Joseph
AU  - Orji, Ndubuisi
AU  - Feng, Shaw
AU  - Cresswell, Michael
AU  - Allen, Richard
AU  - Guthrie, William
AU  - Chu, Wei
C2  - Proceedings of International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Harbin, 1, CH
DA  - 2006-01-01 00:01:00
LA  - en
PB  - Proceedings of International Symposium on Instrumentation Science and Technology, Harbin, 1, CH
PY  - 2006
TI  - Nano- and Atomic-Scale Length Metrology
ER  -