TY  - JOUR
AU  - Doytchinov, K
AU  - Kornblit, F
AU  - Castellanos, C
AU  - Oliveira, J
AU  - Renegar, Thomas
AU  - Vorburger, Theodore
C2  - Metrologia
DA  - 2006-01-01 00:01:00
LA  - en
M1  - 43
PB  - Metrologia
PY  - 2006
TI  - International Comparison of Surface Roughness and Step Height (Depth) Standards, SIM 4.8
ER  -