TY  - JOUR
AU  - Tucker, J
AU  - Rao, M
AU  - Holland, O
AU  - Chi, P
AU  - Papanicolaou, N
AU  - Freitas, J
C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2021-10-12 15:10:18
LA  - en
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2021
TI  - Arsenic and Antimony Implantations in SiC
ER  -