TY  - JOUR
AU  - Tea, N.
AU  - Milanovic, V.
AU  - Zincke, C.
AU  - Suehle, John
AU  - Gaitan, Michael
AU  - Zaghloul, Mona
C2  - Journal of Microelectromechanical Systems
DA  - 1997-12-01 00:12:00
LA  - en
M1  - 6
PB  - Journal of Microelectromechanical Systems
PY  - 1997
TI  - Hybrid Postprocessing Etching for CMOS-Compatible MEMS
ER  -