TY - JOUR AU - Robertson, L AU - Lilak, A AU - Law, M AU - Jones, K. AU - Kringhoj, P. AU - Rubin, L AU - Jackson, J AU - Simons, David AU - Chi, P C2 - Applied Physics Letters DA - 1997-02-18 00:02:00 LA - en M1 - 71 PB - Applied Physics Letters PY - 1997 TI - The Effect of Dose Rate on Interstitial Release from the End-of-Range Implant Damage Region in Silicon ER -