TY  - JOUR
AU  - Lin, Y
AU  - Puthenkovilakam, R
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AU  - Bouldin, Charles
AU  - Levin, Igor
AU  - Nguyen, Nhan
AU  - Ehrstein, James
AU  - Sun, Ying
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AU  - Vandervorst, Wilfried
AU  - Venturo, V
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C2  - Journal of Applied Physics
DA  - 2003-05-15 00:05:00
LA  - en
M1  - 93
PB  - Journal of Applied Physics
PY  - 2003
TI  - Interfacial Properties of ZrO<sub>2</sub> on Silicon
ER  -