TY  - JOUR
AU  - Green, Martin L.
AU  - Chang, Kao-Shuo
AU  - Takeuchi, Ichiro
AU  - Chikyow, T
C2  - ECS Transactions
DA  - 2017-02-19 20:02:57
LA  - en
PB  - ECS Transactions
PY  - 2017
TI  - A Combinatorial Study of Metal Gate/HfO2-MOSCAPS
ER  -