TY  - CONF
AU  - Silver, Richard
AU  - Barnes, Bryan
AU  - Attota, Ravikiran
AU  - Jun, Jay
AU  - Filliben, James
AU  - Soto, Juan
AU  - Stocker, Michael
AU  - Lipscomb, P
AU  - Marx, Egon
AU  - Patrick, Heather
AU  - Dixson, Ronald
AU  - Larrabee, Robert
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2006-03-01
LA  - en
M1  - 6152
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2006
TI  - The Limits of Image-Based Optical Metrology
ER  -