TY  - CONF
AU  - Silver, Richard
AU  - Germer, Thomas
AU  - Attota, Ravikiran
AU  - Barnes, Bryan
AU  - Bunday, B
AU  - Allgair, J
AU  - Marx, Egon
AU  - Jun, Jay
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2007-01-01
LA  - en
M1  - 6518
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2007
TI  - Fundamental Limits of Optical Critical Dimension Metrology: A Simulation Study
ER  -