TY - CONF AU - Postek, Michael AU - Vladar, Andras AU - Kramar, John AU - Stern, L AU - Notte, John AU - McVey, Sean C2 - Proceedings of SPIE, San Diego, CA DA - 2007-09-01 LA - en PB - Proceedings of SPIE, San Diego, CA PY - 2007 TI - The Helium Ion Microscope: A New Tool for Nanotechnology and  Nanomanufacturing ER -