TY  - CONF
AU  - Silver, Richard
AU  - Attota, Ravikiran
AU  - Stocker, Michael
AU  - Bishop, M
AU  - Howard, Lowell
AU  - Germer, Thomas
AU  - Marx, Egon
AU  - Davidson, M
AU  - Larrabee, Robert
C2  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
DA  - 2005-05-01
LA  - en
M1  - 5752
PB  - Proceedings of SPIE, San Jose, CA
PY  - 2005
TI  - High-resolution Optical Metrology
ER  -