TY - JOUR AU - Blagojevic, B AU - Le, E AU - Fahy, K AU - Aguilar, A AU - Makonyi, K AU - Takacs, E AU - Tan, Joseph AU - Pomeroy, Joshua AU - Burnett, John AU - Gillaspy, John AU - Roberts, R C2 - Review of Scientific Instruments DA - 2005-01-01 LA - en M1 - 76 PB - Review of Scientific Instruments PY - 2005 TI - A high efficiency ultrahigh vacuum compatible flat field spectrometer for extreme ultraviolet wavelengths ER -