TY - JOUR AU - Wang, Xiqiao AU - Hagmann, Joseph AU - Namboodiri, Pradeep AU - Wyrick, Jonathan AU - Li, Kai AU - Murray, Roy AU - Meisenkothen, Frederick AU - Myers, Alline AU - Stewart, Michael AU - Silver, Richard C2 - Nanoscale DA - 2018-01-26 DO - https://doi.org/10.1039/C7NR07777G LA - en PB - Nanoscale PY - 2018 TI - Quantifying Atom-scale Dopant Movement and Electrical Activation in Si:P Monolayers ER -